GB/T 32650-2016
電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測石英砂中痕量元素
Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS)
GBT32650-2016, GB32650-2016
1. 標(biāo)準(zhǔn)背景與制定意義
GB/T32650-2016標(biāo)準(zhǔn)是針對石英砂中痕量元素的檢測方法，采用電感耦合等離子質(zhì)譜法（ICP-MS）進(jìn)行測定。該方法適用于石英砂中鋁、鈣、鐵、鈉、鉀等多種微量元素的定量分析，為半導(dǎo)體材料和相關(guān)產(chǎn)品質(zhì)量控制提供了重要技術(shù)依據(jù)。
2. 方法原理與技術(shù)路線
電感耦合等離子質(zhì)譜法（ICP-MS）是一種高效、靈敏的元素分析技術(shù)。試樣經(jīng)過氫氟酸消解和硝酸介質(zhì)處理后，通過霧化器引入離子源，經(jīng)蒸發(fā)、解離、原子化和電離過程形成帶正電荷的離子。
質(zhì)譜儀根據(jù)質(zhì)荷比（m/z）對離子進(jìn)行分離，積分面積與離子數(shù)量成正比，通過標(biāo)準(zhǔn)系列溶液建立校準(zhǔn)曲線，實(shí)現(xiàn)樣品中微量元素的定量分析。
3. 干擾因素與解決措施
干擾因素主要包括雙原子離子、多原子離子、基體效應(yīng)、背景噪音以及元素間的相互作用。此外，試劑純度和設(shè)備潔凈度也會對測試結(jié)果產(chǎn)生影響。
為減少干擾，標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定使用高純試劑，并嚴(yán)格控制實(shí)驗(yàn)室環(huán)境條件（溫度20℃±2℃，濕度45%~55%，空氣潔凈度達(dá)到6級或以上）。
4. 標(biāo)準(zhǔn)框架對比
| 標(biāo)準(zhǔn)要求 | GB/T32650-2016 | 國際標(biāo)準(zhǔn)對比 |
|---|---|---|
| 適用范圍 | 石英砂中13種微量元素的測定 | 與ISO標(biāo)準(zhǔn)方法基本一致 |
| 試劑要求 | 超純水（電阻率≥18MΩ·cm） | 符合國際實(shí)驗(yàn)室用水標(biāo)準(zhǔn) |
| 分析精度 | 檢出限范圍：0.3~7.0 ng/g | 優(yōu)于部分國際同類方法 |
5. 實(shí)施建議
案例分析：實(shí)驗(yàn)室操作中的注意事項(xiàng)
- 確保儀器定期校準(zhǔn)，特別是內(nèi)標(biāo)元素的選擇和調(diào)整。
- 嚴(yán)格控制試劑純度，避免引入外來污染。
- 樣品前處理過程中需注意氫氟酸的使用安全，建議在通風(fēng)櫥中操作。
請注意，本內(nèi)容不等同于標(biāo)準(zhǔn)原文，內(nèi)容僅供參考，本站不保證內(nèi)容的正確性。準(zhǔn)確、完整的信息請參閱正式版文本。
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- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 32650-2016
- 別名
- GBT32650-2016
GB32650-2016 - 發(fā)布
- 2016年
- 總頁數(shù)
- 7頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 32650-2016
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 25915.1 GB/T 6682
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了石英砂中鋁、鈣、鐵、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳、銅、鈦痕量元素的測定方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于石英砂中鋁、鈣、鐵、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳、銅、鈦痕量元素含量的測定。其他元素含量的測定可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
| 術(shù)語 | |
|---|---|
| 試樣 | Sample |
| 空白試驗(yàn) | Blank Test |
| 內(nèi)標(biāo)法 | Internal Standard Method |
GB/T 32650-2016 中提到的儀器設(shè)備
其他標(biāo)準(zhǔn)
專題
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